Този инструмент използва безконтактен метод за интерферометрично измерване с оптично фазово изместване, не уврежда повърхността на детайла по време на измерване, може бързо да измерва триизмерната графика на повърхностната микротопография на различни детайли и да анализира и изчислява измерването резултати.
Описание на продукта
Характеристики: Подходящ за измерване грапавостта на повърхността на различни измервателни блокове и оптични части; дълбочината на мрежата на владетеля и циферблата; дебелината на покритието на структурата на браздата на решетката и морфологията на структурата на границата на покритието; повърхността на магнитния (оптичния) диск и магнитната глава Измерване на структурата; измерване на грапавостта на повърхността на силициевата пластина и структурата на модела и др.
Поради високата точност на измерване на инструмента, той има характеристиките на безконтактно и триизмерно измерване и приема компютърно управление и бърз анализ и изчисляване на резултатите от измерването. Този инструмент е подходящ за всички нива на тестване и измерване на изследователски звена, стаи за измерване на промишлени и минни предприятия, работилници за прецизна обработка, а също така е подходящ за институции за висше образование и научноизследователски институции и др.
Основните технически параметри
Диапазон на измерване на дълбочина на повърхностни микроскопични неравности
На непрекъсната повърхност, когато няма рязка промяна на височината, по-голяма от 1/4 дължина на вълната между два съседни пиксела: 1000-1nm
Когато има мутация на височината, по-голяма от 1/4 от дължината на вълната между два съседни пиксела: 130-1nm
Повторяемост на измерването: δRa ≤0.5nm
Увеличение на обектива: 40X
Числова апертура: Φ 65
Работно разстояние: 0.5мм
Зрително поле на инструмента Визуално: Φ0,25 mm
Снимка: 0.13×0.13 мм
Увеличение на инструмента Визуално: 500×
Снимка (наблюдавана от екрана на компютъра)-2500×
Измервателна матрица на приемника: 1000X1000
Размер на пиксела: 5.2×5.2µm
Време на измерване Време за вземане на проби (сканиране): 1S
Стандартна огледална отразяваща способност на инструмента (висока): ~50%
Коефициент на отразяване (нисък): ~4%
Източник на светлина: лампа с нажежаема жичка 6V 5W
Дължина на вълната на филтъра за зелена интерференция: λ≒530nm
Полуширина λ≒10nm
Повдигане на основния микроскоп: 110 мм
Повдигане на масата: 5 мм
Диапазон на движение в посока X и Y: ~10 mm
Обхват на въртене на работната маса: 360°
Диапазон на наклон на работната маса: ±6°
Компютърна система: P4, 2,8G или повече, 17-инчов дисплей с плосък екран с 1G или повече памет